Die neue MAGiNTEGRA Hochvakuumpumpenserie
Das von Oerlikon Leybold Vacuum angebotene Vakuumgesamtsortiment unterstützt alle Beschichtungsprozesse im Grobvakuum, Feinvakuum, Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Pumptechnologien, Systeme und Dienstleistungen umfassen Bauteile, standardisierte Systeme und komplette kundenspezifische Vakuumlösungen. Das Lieferprogramm beinhaltet ölgedichtete Drehschieber- und Kolbenpumpen, trocken verdichtende und ölfreie Pumpen, Wälzkolbenpumpen, Turbomolekular, Öldiffusions- und Kryo-Vakuumpumpen sowie Standard- und kundenspezifische Beschichtungssysteme für die Forschung. Die Vakuumdienstleistungen im Bereich Reparatur und Modernisierung von Vakuumpumpen aller Hersteller vervollständigen das Spektrum an Vakuumprodukten.
Schon im Bereich der Beschichtung und Nanotechnologieforschung bietet Oerlikon Leybold Vacuum seinen Kunden optimierte Vakuumlösungen, die zu verringerten Betriebskosten und erhöhter Produktionszuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit beitragen. Eine der wesentlichen Anforderungen, die heute von Industrie-, Analyse- oder Forschungsanwendungen an die Ausrüstung des Vakuumsystems gestellt werden, ist die volle Systemintegrität der verwendeten Komponenten unter Optimierung der Verrohrung und Verkabelung.
Die DRYVAC Pumpen kombinieren die trockene Schraubentechnologie mit einem sehr kompakten Design und zusätzlichen Kundenvorteilen. In der vertikalen Standardanordnung mit einer RUVAC Wälzkolbenpumpe wird die Aufstellungsfläche in der Fertigung minimiert. Allerdings kann diese Pumpenkombination auch vertikal angeordnet werden und passt dann unter die Fertigungssysteme.
Auch die neuen, magnetisch gelagerten Turbo-Molekularpumpen von Oerlikon Leybold Vacuum zeichnen sich durch kompakte Konstruktion, ausgezeichnete Vakuum-Leistungsdaten und ein standardisiertes Zubehörprogramm aus. Die neue TURBOVAC MAGiNTEGRA bietet wartungsfreien Betrieb in den meisten Applikationen industrieller Prozesse, wie zum Beispiel im Display-, Solar-, Beschichtungs- und Forschungsmarkt. Robust und zuverlässig ist die MAGiNTEGRA beständig gegen Prozesspartikel und Stäube. Eventuell prozessbedingte Stoßbelüftungen werden weitestgehend toleriert, ebenso wie eine Montage der Pumpen in jeder Position und in jedem Einbauwinkel. Das rotationssymetrische und platzsparende Gehäuse sowie eine flexible Frequenzwandler-Montageposition bieten weitere Vorteile. Durch die berührungslose und damit verschleißfreie Lagerung ist die magnetgelagerte TURBOVAC MAGiNTEGRA weitestgehend wartungsfrei. Zudem bietet diese Lagerung hohe Sicherheit gegen Kohlenwasserstoffe, wenn bei sensitiven Prozessen selbst geringste Restmengen Schmierfette von Kugellagern nicht tolerierbar sind. Einen weiteren Vorteil bietet die MAGiNTEGRA bei schwingungsempfindlichen Anwendungen durch ihren extrem vibrationsfreien Lauf. Selbstverständlich weist die TURBOVAC MAGiNTEGRA modernste Kommunikationsschnittstellen mit einer intelligenten Überwachung der Prozess-Parameter inklusive einer Selbstschutzfunktion bei Betriebsstörungen auf.
Die UNIVEX Experimentier-PVD-Vakuumbeschichtungssysteme für Anwendungen im Bereich Forschung und Entwicklung sowie für Pilot-Produktionsanwendungen sind mit unterschiedlichen Konfigurationen und Vakuumkammergrößen unter Verwendung von Glocken-, Edelstahlrechteck-Kammern sowie Cluster-Werkzeugkonfigurationen verfügbar. Die UNIVEX Systeme bieten serienmäßig viele Eigenschaften und Optionen, einschließlich Hochvakuumpumpsysteme, Stromversorgungen, SPS, eine Vielzahl von Substrathaltern, Schichtdicken- und Vakuummess- sowie Kühlungs- und Heizungs-Systemen, Durchführungen, Einblickfenster und Gaszuführungen. Verschiedene Modelle von thermischen und Elektronenstrahlverdampfern, Gleichspannungs- und Hochfrequenz-Zerstäubungsquellen, Verdampfer für organische Materialien sowie Schleusenkammerversionen sind erhältlich.
Die Kunden können ihre Forschungs- und Entwicklungs- oder Pilotproduktions-Beschichtungssysteme aus einer Hand erwerben. Dabei können sie aus einem breit gefächerten Angebot an Standard- und Mehrzweck-Konfigurationen entsprechend ihren spezifischen Anforderungen auswählen. Zuverlässige Unterstützung für das gesamte Projekt, beginnend mit einer Ingenieur-Beratungsleistung, Installation und Schulung bis zur Wartung ist selbstverständlich.
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