Pyroelektrische Infrarotsensoren werden für die berührungslose Erkennung und Messung in der Gasanalyse, Spektroskopie, Pyrometrie und Sicherheitstechnik eingesetzt. Die leistungsstarken industriellen Sensoren bzw. Detektoren der Dresdner DIAS Infrared GmbH reagieren dabei bereits auf sehr geringe Temperaturschwankungen.
Um die breite Palette von Anwendungsmöglichkeiten mit maßgeschneiderten Sensorlösungen abdecken zu können, entwickelt DIAS eine Vielzahl serienmäßiger sowie kundenspezifischer Lithiumtantalat (LiTaO3)-Sensoren, pyroelektrischer Arrays und Sensormodule. Durch den Einsatz modernster Ionenstrahl-Ätztechnologie verfügen diese Sensoren über besonders dünne empfindliche Elemente, die sehr hohe spezifische Detektivitäten bis zu einer Milliarde cmHz1/2/W erlauben. Auch die Empfindlichkeit der DIAS-Sensoren und Arrays erreicht sehr hohe Werte. Ein niedriges Rauschen und eine geringe Schwingungsempfindlichkeit sind weitere Merkmale der Sensoren. Die zahlreichen Standardausführungen sowie kundenspezifisch gefertigten Sensoren ermöglichen bei größeren wie auch kleineren Stückzahlen individuell angepasste Mess- und Detektorlösungen mit einem guten Preis-Leistungs-Verhältnis.
Neben den Sensoren mit ein bis vier spektralen Messkanälen sind die pyroelektrischen linearen Arrays mit 128 oder 256 IR-empfindlichen Elementen auf einem Lithiumtantalat-Chip ein Entwicklungsschwerpunkt bei DIAS. Das Raster der Einzelelemente beträgt bei diesen Sensoren 100 bzw. 50 µm. Für die Spektrometrie hat DIAS Sensoren mit besonders langen Elementen entwickelt, die sowohl mit gewöhnlichen Schmal- und Breitbandfiltern als auch mit linearen Verlaufsfiltern bestückt werden können. Um insbesondere beim Einsatz von Verlaufsfiltern einen noch weiteren Spektralbereich mit einem einzigen Sensor abdecken zu können, bietet DIAS auch Sensoren mit zwei integrierten, parallel zueinander angeordneten Zeilen an. Jede der beiden Sensorzeilen kann dabei mit einem separaten Filter ausgestattet und getrennt ausgewertet werden.
(Katrin Schindler)
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